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大面积卧式AZO透明导电膜生产线

卧/立式连续磁控溅射镀AZO膜生产线共设计有七个真空腔体部分,第一部分为进口室,第二部分为进口缓冲室,第三部分为进口传送室,第四部分为工艺室,第五部分为出口传送室,第六部分为出口缓冲室,第七部分为出口室;两对采用PCU04闭路环控制的中频孪生Si靶,形成高质量的隔离SiO2层;十对圆柱AZO靶,实现高质量的AZO透明导线膜;设备设计加工尺寸为宽1100mm,长1400mm的平面基板材料,生产加工周期可优化到60-120秒;生产线采用分子泵抽气形成气氛隔离的先进设计,生产线采用涡轮浮分子泵以获得高效的隔离、稳定的抽速和均匀的气体分布。

该生产线运用在薄膜太阳能电池上,透明导电膜用为减反射层和透明电极使用,可以提高太阳能的转化效率,用AZO薄膜代替ITO薄膜,不仅可以降低生产成本,而且无毒环保,膜层性能更加稳定。

 

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