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磁控蒸发两用镀膜机(单/双室)

利来体育名称

立式蒸发磁控双用镀膜机

型号

ZJLS-800、ZJLS-1600型

真空尺寸

Φ800×1200/Φ1600×1800

 

输入电源

3相5线制380V 50Hz/60Hz

抽气时间

大气到5.0×10-2Pa≤7min

极限真空

10-4Pa

工件转速

2~20r/min

名义功率

68KW/115KW

粗抽泵

2X-15/H-150

增压泵

ZJP-300/ZJP-600

维持泵

2X-15/2X-30

精抽泵

KT-600两台/KT-800两台

材料

碳钢或不锈钢

工作条件

环境温度

5~40℃

压缩空气

0.5MPa±20%

冷却水压

0.15MPa±10%

传动系统

机械密封/磁流体

行星运转

镀膜系统

电阻式口字型

平面靶/圆柱靶

20KVA蒸发电源

30KVA蒸发电源

20KW直流电源

40KW直流电源

控制系统

HMI/PLC

水压、气压、水流、阀门不到位、过载、误操作、停电保护

其他

 

主要应用

HCVM、装饰膜

 

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