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大面积AZO透明导电膜生产线

卧/立式连续磁控溅射镀AZO膜生产线共设计有七个真空腔体部分,第一部分为进口室,第二部分为进口缓冲室,第三部分为进口传送室,第四部分为工艺室,第五部分为出口传送室,第六部分为出口缓冲室,第七部分为出口室;两对采用PCU04闭路环控制的中频孪生Si靶,形成高质量的隔离SiO2层;十对圆柱AZO靶,实现高质量的AZO透明导线膜;设备设计加工尺寸为宽1100mm,长1400mm的平面基板材料,生产加工周期可优化到60-120秒;生产线采用分子泵抽气形成气氛隔离的先进设计,生产线采用涡轮浮分子泵以获得高效的隔离、稳定的抽速和均匀的气体分布。

该生产线运用在薄膜太阳能电池上,透明导电膜用为减反射层和透明电极使用,可以提高太阳能的转化效率,用AZO薄膜代替ITO薄膜,不仅可以降低生产成本,而且无毒环保,膜层性能更加稳定。?

(1)设备类型:卧式连续磁控溅射镀膜线
(2)镀膜基片架尺寸:按照1×1100mm(W)×?1400mm(L)×3mm基片设计;
(4)膜层均匀性设计要求:在有效沉积区域内,膜层厚度均匀性≤±5%;
(6)阴极结构设计要求:采用中频孪生旋转阴极,初步确定靶规格为135mm×1400mm;
(7)设备传动方式:采用双摩擦传动的卧式小车装载进片方式(不采用滚轮设计);
(8)镀膜工艺实现方式:采用ZnO:Al陶瓷靶,采用反应溅射沉积工艺;
(9)镀膜温度控制:采用不锈钢铠装加热装置(可以按客户要求采用灯管加热),最高温度为350℃,按照常温~400℃可以任意设定设计,控制稳定度为±5℃;
(10)控制系统要求:控制系统能实现人、机对话,及时对生产过程进行必要干预。运行过程有报警提示和故障显示,故障显示能提示操作人员正确的操作和排故。

项目

指标要求

真空参数

低真空室极限压力

≤4E-0?Pa

高真空室极限压力

≤8E-04?Pa

镀膜室极限压力

≤8E-04?Pa

进出口室抽气时间

大气~5?Pa?≤?65s

高真空室抽气时间

10E-01?Pa~8E-03?Pa?≤?25s

工艺室抽气时间

大气~5E-03?Pa?≤?6?h

膜层参数(AZO)

平均膜厚

1200nm

膜厚均匀性

±10%

薄膜电阻

≤8Ω/sqr

电阻均匀性

±10%

电阻系数均匀性

±7%

基片温度

最高350℃

透过率

≥80%(at550nm)(超白浮法玻璃)

重复性

±10%

膜层参数(SiO2)

平均膜厚

25nm±10%

膜厚均匀性

±7%

重复性

±7%

靶材

多晶硅

利来体育型号???HD-JCL-Z1400A?(立式AZO透明导电膜生产线)(该利来体育为样品,具体设计要求可根据客户提出内容做修改。)

生产线主体总长度:37.8m

利来体育尺寸:1×1100mm×1400mm×2-12mm?平板型玻璃基板材料;

基片架尺寸:?1500mm(L)×1600mm(H)?

镀膜材料要求:?SiO2膜和AZO透明导电膜;

生产周期:90-180s/架。

 

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