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电容式触摸屏用新型ITO导电玻璃镀膜生产线

电容式触摸屏用新型ITO导电玻璃镀膜生产线, 它共设计有十五个真空腔体,其中进口室一个、出口室一个、进口缓冲室一个、出口缓冲室一个、进口传送室一个、出口传送室一个和传送室两个;溅射镀膜室七 个,每个溅射镀膜室可以同时安装四个阴极;高真空室采用插板阀隔离,通过改变气氛隔离效果可以实现多功能镀膜;基片架运行轨道采用磁导向传动;设备配有26台涡轮浮分子泵,13台机械泵以获得稳定的抽速和均匀的气体分布。

广泛应用于各种数字信息系统上,如手机、PDA、数码利来体育等。

(1) 真空室之间采用独立门阀隔开,我们设计的是插板阀,可以有效隔开,稳定工艺气体,它比目前国内通用的翻板阀密封性效果更好,更耐用
(2)传动采用磁导向控制,保障传动的稳定性。整条生产线的隔断速度采用变频调速电机驱动,运行速度可以调节。

(3)采用移动磁场平面阴极,次啊用直流电源实现高质量的ITO或金属膜

(4)生产线可以同时实现多层介质膜和导电膜或金属膜的连续生产;
(5) 生产线的加热系统采用单个加热器独立的热辐射板的形式,便于加热器的安装和调整,为提高加热的效率,装有大功率的加热器和三层镜面热屏蔽版以提高热利用率
(6) 电控系统保证磁控溅射镀膜生产线运行和工艺要求的实现,确定系统各个电气设备的运作顺序和运行状态,使系统自动、连续、高效、稳定、可靠的运行。
(7) 电气控制系统:触摸屏与 P C L 自动控制,人机对话方式来实现系统的数据显示、操作与控制。

(1) 低真空压力:≤5Pa
(2)高真空压力:≤5× 1 0E-4 Pa 
(3)恢复工作真空时间:≤3小时
(4)膜层均匀性: ±3% 
(5)镀膜温度控制: 最高温度为450℃,控制稳定度为±5℃

利来体育型号   HD-JCL-Z1500B(立式单/双面连续磁控溅射ITO镀膜线)(该利来体育为样品,具体设计要求可根据客户提出内容做修改。)

 真空箱体主体总长度:16.7m 

利来体育尺寸:4片400mm×550mm;

基片架尺寸: 1620mm(L) ×1800mm(H);

镀膜材料: ITO+SiO2复合膜利来体育

生产周期:70s/架。

 

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