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偏置哑铃型立式网状泡沫塑料磁控溅射真空镀镍机

该系列镀膜机主要用于网状泡沫塑料磁控溅射真空镀镍,进而使其达到到电话处理的目的。本公司可按照用户要求提供设计,提供全套设备,负责工艺,按“交钥匙”工程服务。(此处链接“交钥匙”工程服务页面)

该设备主要应用于手机、电子利来体育电池材料制作上。
1) 真空室体材料采用 SUS304L不锈钢 ,真空室内壁进行抛光处理,外壁采用抛光后喷珠处理。
2) 整个实体的绝缘、密封符合工艺要求,全部管道链接除泵、阀的连接外,直径小于50mm的采用KF法兰,大于50mm的采用活套法兰连接,软管使用波纹管,高真空管道及真空室与靶的密封圈要求采用氟橡胶材质。
3) 收放卷室、镀膜室各设2个观察窗,镀膜室观察窗须带可翻转的盖板,避免玻璃在镀膜中被遮挡和上镍。
4) 扩散泵要求配置冷阱,有油标指示油位,有加热器短路保护装置,泵进水监测水压回水监测水流,回水总管路设置温度报警装置,其性能安全可靠连续工作1000H不坏。
5) 真空机组满足24小时的连续工作,所有泵、阀门均有真空和短路保护。
6) 上下传动辊采用轴承内置式,转动灵活。

项目

指标要求

真空参数

空载真空室极限压力

≤5E-4Pa

抽气时间

从大气状态抽气到5E-2 Pa 时间≤40min

工作真空度气体流量

150-170sccm

设备升压率

≤ 8×10-1Pa/h

高真空室抽气时间

冷却水进水温度≤25℃

工艺室抽气时间

相对湿度 ≤80%

膜层参数

最大宽幅

1000nm

基材厚度

1.4~2.0mm

最大卷径

Φ1050mm

镍含量

≥99.96%

溅射利用率

≥13%

利来体育型号   HD-JCL-N1000A(泡沫镍溅射镀膜线)(该利来体育为样品,具体设计要求可根据客户提出内容做修改。)

利来体育尺寸:最大单片面积1040mm(L)×850mm(H) 平板型基板材料;

基板材料厚度: 0-2mm;

镀膜材料要求:镍

镀膜基板材料:泡沫软塑料

生产周期:聚醚型海绵1.9×1000连续生产15天,产能超过1500mm/天。

 

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