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大面积抗反射导电膜连续磁控溅射生产线
抗反射导电膜连续磁控溅射生产线已获得软件著作权和设备控制系统两项专利,它共设计有十五个真空腔体,其中进口室一个、出口室一个、进口缓冲室一个、出口缓冲室一个、进口传送室一个、出口传送室一个和传送室两个;溅射镀膜室七个,每个溅射镀膜室可以同时安装四个阴极;高真空室采用插板阀隔离,通过改变气氛隔离效果可以实现多功能镀膜;基片架运行轨道采用磁导向传动;设备配有26台涡轮浮分子泵,13台机械泵以获得稳定的抽速和均匀的气体分布。
增加背光源的透射率、减少外界光线的反射;获得高的色彩对比度及外观色彩。广泛应用于液晶显示器、液晶电视、MP4、车载显示、手机显示、数码相机和掌声电脑等。
(1) 生产线采用大面积溅射沉积厚度均匀性控制装置,实现了均匀性可根据生产状态变化进行调整;
(2) 生产线可以同时实现多层介质膜和导电膜或金属膜的连续生产;
(3) 生产线可以采用压电阀闭路环控制工艺生产SiO2层;
(4) 生产线安采用了先进的插板阀进行腔室隔断,可以实现有效隔断,稳定工艺气体。国内仅我司具有设计和加工插板阀的能力,采用插板阀设计密封效果更好,更耐用;
(5) 生产线采用了均匀进气管结构设计,气流注入均匀平缓;
(6) 生产线采用了先进的磁导向传动系统,基片架传动平稳;
(7) 电气控制系统:触摸屏与 P C L 自动控制,人机对话方式来实现系统的数据显示、操作与控制。

(1) 极限真空压力:6× 1 0E-4 Pa
(2)平均生产周期:80-180 秒/架
(3)基片架尺寸:850mm× 1500mm(可以根据要求定做)
(4)膜层均匀性: ±3%

设计号

反射色彩

可见光透过率

视觉透射率非均匀性

表面电阻

表面电阻非均匀性

1

浅红色

Tmax:  95%

T550nm:  93.5%

0.5%

450-550

6%-9%

2

蓝色

Tmax:  98.5%

T550nm:  98.5%

1.3%

450-550

6%-9%

2

红色

Tmax:  99.2%

T550nm:  96.4%

1.4%

450-550

6%-9%

3

蓝色

Tmax:  98.3%

T550nm:  98%

1.7%

450-550

6%-9%

3

红色

Tmax:  98.3%

T550nm:  98.1%

0.4%

450-550

6%-9%


利来体育型号 HD-JCL-Z1400B(自动磁控溅射连续AR镀膜生产线)

生产线主体总长度:25.95m

利来体育尺寸:6×406mm×355mm

基片架尺寸: 1250mm(L)×1403mm(W)

镀膜材料: TiO2/SiO2膜和ITO透明导电膜;

生产周期:单车6片,月产能>8万片/月

利来体育型号 HD-JCL-Z1500B(立式单/双面连续磁控溅射ITO镀膜线)(该利来体育为样品,具体设计要求可根据客户提出内容做修改。)

真空箱体主体总长度:16.7m

生产线设计技术指标:

利来体育尺寸:4片620mm×750mm;

基片架尺寸: 1620mm(L) ×1800mm(H);

镀膜材料: ITO透明导电膜

生产周期:90s/架。

 

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